熱式質量流量計是直接測量氣體或液體質量流量的儀表，核心基于“熱傳導原理”，無需額外搭配密度傳感器，就能直接輸出質量流量數據，避免了傳統體積流量計需換算的誤差，廣泛應用于氣體計量場景。
核心工作原理
核心是利用流體流動對熱源的帶走效應，通過測量熱量損失與流體流速的關系推算質量流量，主流兩種測量方式：
- 恒功率法：保持傳感器加熱功率恒定，流體流速越快，帶走熱量越多，傳感器與參考端的溫差越小，溫差與質量流量成反比。
- 恒溫差法：保持傳感器與參考端的溫差恒定，流體流速越快，所需加熱功率越大，功率消耗與質量流量成正比。
主要特點
- 優勢：直接測質量流量，無需溫度、壓力補償（體積流量計需額外補償）；結構簡單，無運動部件，維護成本低；量程比極寬（通常1:1000以上），適合低流速、小流量測量；對氣體測量精度高，部分型號可測微流量（如ml/min級）。
- 局限：測量液體時易受粘度、導熱系數影響，精度不如氣體測量；對介質清潔度有要求，含大量雜質、油污的流體可能污染傳感器；高溫、高濕或腐蝕性強的介質需其他材質傳感器，否則易損壞。
典型應用場景
以氣體測量為核心，覆蓋多個工業及民生領域：
- 工業氣體：壓縮空氣、氮氣、氧氣、氫氣等氣體的流量計量（如化工生產、電子制造中的氣體輸送）；
- 領域：煙氣排放、VOCs（揮發性有機物）監測中的流量測量；
- 民生等：燃氣熱水器、燃氣灶的燃氣流量控制，設備中氧氣、麻醉氣體的精度計量；
- 其他：微小流量液體（如潤滑油、化學試劑）的計量與控制。